삼성 등 반도체 공정서 발암물질 공식 확인

2008년 3월 삼성전자 반도체 공장에서 일하다 숨진 황유미씨의 1주기 추모 사진 등이 서울 서초동 삼성 본관 앞에 걸려 있다. 한겨레 박종식 기자

산업안전보건연구원, 3개 사업장 3년 정밀조사 결과
웨이퍼 작업중 백혈병 유발 벤젠·포름알데히드 발생
비소는 기준치 초과…“백혈병 노동자 산재 인정해야”

반도체 사업장의 작업공정에서 벤젠과 포름알데히드 등 발암물질이 나온다는 사실이 공공 연구기관을 통해 처음으로 확인됐다.

고용노동부 소속 한국산업안전보건공단의 산업안전보건연구원은 ‘반도체 제조 사업장 정밀 작업환경 연구’ 결과를 6일 발표했다. 연구원은 지난 2009년부터 3년 동안 백혈병이 발생한 삼성전자를 포함해 하이닉스, 페어차일드코리아 3개 사업장을 대상으로 발암물질을 측정했다.

조사 결과, 백혈병을 일으키는 벤젠의 경우 웨이퍼(반도체를 만들 때 필요한 얇은 판) 가공라인과 반도체 조립라인 공정에서 부산물로 발생했다. 반도체를 만들 때 벤젠을 직접 사용하지 않는다고 해도, 일부 물질이 높은 온도에서 분해되면서 벤젠이 부산물로 나온다는 것이다. 다만 검출농도는 가공라인에서 최대 0.00038ppm, 조립라인에서 최대 0.00990ppm으로 둘 다 고용부가 정한 노출기준(1ppm)보다는 낮았다.

또 다른 백혈병 유발인자인 포름알데히드 역시 부산물로 발생하는 것으로 조사됐다. 포름알데히드의 노출기준은 0.5ppm인데, 가공라인에서는 최대 0.004ppm, 조립라인에서는 0.015ppm이 검출됐다. 전리방사선은 웨이퍼 가공라인과 반도체 조립라인에서 연간 최대 0.015밀리시버트(mSv)가 측정됐다. 방사선작업 종사자의 연간 방사선 노출 한도는 50밀리시버트다.

백혈병 유발인자와 달리 폐암을 일으키는 비소는 웨이퍼 가공라인의 이온주입공정에서 노출기준(0.01mg/㎥)보다 많은 양(0.001∼0.061mg/㎥)이 나왔다. 이온주입공정 유지보수작업은 하청업체 노동자들이 주로 맡고 있다. 고용부는 3개 업체에 대해 환기장치 보완 등 시설개선과 작업환경 측정 강화, 특수건강진단 추가 실시, 하청업체 노동자 건강보호 대책 등을 마련하도록 시정 조치했다.

‘반도체 노동자의 건강과 인권 지킴이, 반올림’의 이종란 노무사는 “반도체 작업공정에서 다양한 발암물질이 나온다는 사실이 확인된 만큼, 근로복지공단은 반도체 사업장의 산업재해를 적극적으로 인정해야 한다”며 “이미 법원에서도 노출기준에 미달한 발암물질이 나온다고 해도 장시간·지속적으로 노출됐을 경우 업무 관련성을 인정했다”고 말했다.

반도체 공장 백혈병 문제는 지난 2007년 삼성전자 노동자들이 근로복지공단에 산업재해를 신청하면서 사회문제가 됐고, 지난해 6월 서울행정법원이 삼성전자에서 일하다 백혈병에 걸린 노동자에 대해 처음으로 산재를 인정했다. 하지만 삼성전자는 지난해 7월 미국 산업안전 컨설팅 업체인 인바이런사에 의뢰한 결과 반도체 사업장이 백혈병과 같은 질병을 유발한다는 과학적 인과관계를 찾지 못했다고 이번 조사와 상반된 주장을 한 바 있다. 김소연 기자 [e-mail]